high pressure furnace (484) 온라인 제조사
공정온도((℃): 700-1050
전구체 및 공정 가스: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Max.Working 온도: 1800 ℃
온도 균일 성: ≤ ± 5 5
최대사용온도(℃): 1300
Temperature uniformity(℃): ≤±3
작업 공간: 400*400*1200mm 또는 고객 요구에 따라 사용자 정의합니다
작업 압력: 60개 바
공정온도((℃): 700-1050
전구체 및 공정 가스: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
공정온도((℃): 700-1050
전구체 및 공정 가스: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
공정온도((℃): 700-1050
전구체 및 공정 가스: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
챔버 사이즈: 사용자 정의 가능 (200*200*400/400*400*1200/500*500*1800mm)
최종 진공: 3,67*10-3 PA
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