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RDE 실리콘 카비드 코팅 기계 CVD 화학 증기 퇴적 오븐

실리콘 카바이드로
2024-11-12
695 의견
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RDE 공장 직판 실리콘 카바이드 코팅 화학 퇴적 오븐 이 장비는 탄소 기반/세라믹 기반 물질의 실리콘 카바이드 코팅에 사용됩니다.특히 반도체 에피타시얼 수식체 및 에치링 링의 표면에 실리콘 카바이드의 퇴적. 고순도 그래피트 디스크, 원형 갈라짐으로 웨이퍼 기판을 고정합니다. 가루에 넣은 후 피질의 표면에 결정 필름의 층이 자랄 것입니다. 리토그래피 및 이... 더 보기
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