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HTCVD 실리콘 탄화물 CVD SIC 에피타시 성장 오븐 다중 온도 제어 구역

CVD 코팅기기
2024-11-12
723 의견
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#통합된 CVD 코팅기기 #마모 저항자 CVD 코팅기기 #CNC 초경공구 CVD 코팅 설비
HTCVD 실리콘 카바이드 (CVD SIC) 에피타시 성장 오븐 이 장비는 탄소 기반/세라믹 기반 물질의 실리콘 카바이드 코팅에 사용됩니다.특히 반도체 에피타시얼 수식체 및 에치링 링의 표면에 실리콘 카바이드의 퇴적. 코팅 비율은 계류 고객들에게 매우 중요한 지표이며, 이는 장비의 생산 능력과 직접 관련이 있습니다.우리의 장비는 시속 50 미크론의 퇴적 속... 더 보기
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