최대사용압력(MPa): 1-10
Max.Working 온도: 2000
작업 공간: 400*400*1200mm 또는 고객 요구에 따라 사용자 정의합니다
작업 압력: 60개 바
공정온도((℃): 700-1050
전구체 및 공정 가스: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
공정온도((℃): 700-1050
전구체 및 공정 가스: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
공정온도((℃): 700-1050
전구체 및 공정 가스: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
가열 소자: 그라파이트
펌프 세트: 백업 펌프 및 뿌리 펌프
공정온도((℃): 700-1050
코팅의 종류: TiC、TiN、TiCN、a-AL2O3、K-AI2O3
공정온도((℃): 700-1050
코팅의 종류: TiC、TiN、TiCN、a-AL2O3、K-AI2O3
공정온도((℃): 700-1050
전구체 및 공정 가스: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
문의사항을 직접 저희에게 보내세요