원래 장소:
중국
브랜드 이름:
Ruideer
인증:
CE
모델 번호:
사용자 정의
시리콘 카비드 CVD 코팅 오븐
이 장비는 탄소 기반/세라믹 기반 물질의 표면에 실리콘 탄화탄소를 퇴적하는 데 사용되며, 특히 반도체 수용체와 발각 고리를 위해 사용됩니다.
그래피트 수용체, 고 순수 그래피트 디스크, 원형 구획을 가지고 웨이퍼 기판을 고정합니다.결정 필름의 층이 기판의 표면에 자랄 것입니다., 즉 대피층입니다.
리토그래피와 이온 이식과 같은 웨이퍼 프로세스는 모두 대피층에서 수행됩니다.그래피트로 만든 대각 기판은 반도체 공정에서 매우 높은 청결 요구 사항을 충족 할 수 없습니다..
이 이유로, 우리는 밀도가 높은 실리콘 카바이드 필름의 층을 포장하기 위해 기부에 화학적 증기 퇴적물을 사용해야합니다.
| 최대 작동 온도 ((°C) | 1500°C |
| 온도 균일성 ((°C) | ≤7 |
| 최후 진공 ((Pa) | 10 |
| 공정가스 | MTS,Ar,H2 |
• 디자인 표준
장비는 품질 및 기술 감독 사무소의 압력 용기 요구 사항에 따라 설계되었으며 압력 테스트를 거쳐 자격을 갖추고 배송됩니다.전기 설계 및 건설은 국가 표준을 충족.
• 설치 전 시험 및 사전 승인
모든 파이프 라인, 진공 파이프 라인, 공정 가스 파이프 라인, 냉각 물 파이프 라인, 압축 공기 파이프 라인 등을 포함한 장비는 우리 공장에서 완전히 조립됩니다.설치 후 사전 테스트를 수행 할 수 있습니다.고객 현장에서, 장비 이외의 파이프 라인은 고객에 의해 제공됩니다. 설치는 또한 모든 케이블의 연결을 포함합니다. 고객 현장에서,전원 캐비닛을 연결하는 주 케이블은 고객이 제공합니다.설치 후, 우리는 전체 장비에 진공 및 압력 누출 테스트를 수행하고 기계 및 전기 기능 테스트를 수행합니다.
• 해체 및 운송
장비는 여러 개의 큰 부분으로 해체되고 표준화된 방식으로 포장되고 운송 차량에 탑재됩니다.
• 고객 사이트 설치 및 시공
레델의 사후 엔지니어는 20일 이내에 팀의 시공, 제품 시험 연소 및 기타 작업을 완료하도록 이끌 것입니다.고객은 적절한 준비를 하고 필요한 도구를 제공해야 합니다.설치 인력 지원 (기계 인력 1명과 전기 인력 1명) 을 제공합니다.
• 최종 승인
설치 및 시공 후, 장비는 기술 계약의 요구 사항에 따라 최종적으로 받아 들일 수 있습니다.
• 훈련
우리의 판매 후 엔지니어들은 운영, 유지 보수, 문제 해결 등을 포함한 체계적이고 완전한 현장 교육을 제공합니다.
• 기술 데이터 전달
안전 운용 및 장비 유지보수를 보장하기 위해 다음의 기술적 데이터가 고객에게 제공됩니다.
1장비 설치 레이아웃
2사용 설명서
3부품 목록
4전기 도면
5부품 설명서
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