high pressure furnace (447) 온라인 제조사
작업 공간: 400*400*1200mm 또는 고객 요구에 따라 사용자 정의합니다
작업 압력: 60개 바
공정온도((℃): 700-1050
전구체 및 공정 가스: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
공정온도((℃): 700-1050
전구체 및 공정 가스: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
공정온도((℃): 700-1050
전구체 및 공정 가스: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
챔버 사이즈: 사용자 정의 가능 (200*200*400/400*400*1200/500*500*1800mm)
최종 진공: 3,67*10-3 PA
크기: 주문을 받아서 만들어진 크기
구조: 단 하나 약실, horizental 유형
온도: 2200℃
챔버 사이즈: 300*300*600mm/500*500*1200mm/500*500*1800mm/맞춤화
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
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