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RDE 실리콘 카비드 코팅 기계 CVD 화학 증기 퇴적 오븐

RDE 실리콘 카비드 코팅 기계 CVD 화학 증기 퇴적 오븐

화학 증기 퇴적 오븐

실리콘 카비드 코팅 기계

CVD 화학 증기 퇴적 오븐

원래 장소:

중국

브랜드 이름:

Ruideer

인증:

CE

모델 번호:

사용자 정의

저희와 연락
인용 을 요청 하십시오
제품 세부 정보
유효공간(mm):
1000*1000*1500
난방력(KVA):
300
Max.Tep.:
1500C
온도 균일성:
≤±7℃
최종 진공:
10 pa
공정 가스:
MTS, Ar, H2
지불 및 배송 조건
최소 주문 수량
1 세트
가격
협상 가능
포장 세부 사항
나무 상자
배달 시간
5-6개월
지불 조건
L/C, T/T
공급 능력
5-6개월/세트
제품 설명

RDE 공장 직판 실리콘 카바이드 코팅 화학 퇴적 오븐

이 장비는 탄소 기반/세라믹 기반 물질의 실리콘 카바이드 코팅에 사용됩니다.특히 반도체 에피타시얼 수식체 및 에치링 링의 표면에 실리콘 카바이드의 퇴적.

고순도 그래피트 디스크, 원형 갈라짐으로 웨이퍼 기판을 고정합니다.

가루에 넣은 후 피질의 표면에 결정 필름의 층이 자랄 것입니다.

리토그래피 및 이온 이식과 같은 웨이퍼 프로세스는 모두 대피층에서 수행됩니다.

그래피트로 만든 대각 기판은 반도체 공정에서 매우 높은 청결성 요구 사항을 충족시킬 수 없음이 분명합니다.

이 이유로, 우리는 밀도가 높은 실리콘 카바이드 필름의 층을 포장하기 위해 기지에 화학적 증기 퇴적을 사용해야합니다.

• 디자인 표준

장비는 품질 및 기술 감독 사무소의 압력 용기 요구 사항에 따라 설계되었으며 압력 테스트를 거쳐 자격을 갖추고 배송됩니다.전기 설계 및 건설은 국가 표준을 충족.

• 설치 전 시험 및 사전 승인

모든 파이프 라인, 진공 파이프 라인, 공정 가스 파이프 라인, 냉각 물 파이프 라인, 압축 공기 파이프 라인 등을 포함한 장비는 우리 공장에서 완전히 조립됩니다.설치 후 사전 테스트를 수행 할 수 있습니다.고객 현장에서, 장비 이외의 파이프 라인은 고객에 의해 제공됩니다. 설치는 또한 모든 케이블의 연결을 포함합니다. 고객 현장에서,전원 캐비닛을 연결하는 주 케이블은 고객이 제공합니다.설치 후, 우리는 전체 장비에 진공 및 압력 누출 테스트를 수행하고 기계 및 전기 기능 테스트를 수행합니다.

• 해체 및 운송

장비는 여러 개의 큰 부분으로 해체되고 표준화된 방식으로 포장되고 운송 차량에 탑재됩니다.

• 고객 사이트 설치 및 시공

레델의 사후 엔지니어는 20일 이내에 팀의 시공, 제품 시험 연소 및 기타 작업을 완료하도록 이끌 것입니다.고객은 적절한 준비를 하고 필요한 도구를 제공해야 합니다.설치 인력 지원 (기계 인력 1명과 전기 인력 1명) 을 제공합니다.

• 최종 승인

설치 및 시공 후, 장비는 기술 계약의 요구 사항에 따라 최종적으로 받아 들일 수 있습니다.

• 훈련

우리의 판매 후 엔지니어들은 운영, 유지 보수, 문제 해결 등을 포함한 체계적이고 완전한 현장 교육을 제공합니다.

• 기술 데이터 전달

안전 운용 및 장비 유지보수를 보장하기 위해 다음의 기술적 데이터가 고객에게 제공됩니다.

1장비 설치 레이아웃

2사용 설명서

3부품 목록

4전기 도면

5부품 설명서

FAQ

공장이나 무역회사인가요?

Q: 공장 또는 무역 회사인가요?

A: 우리는 10 년 이상의 경험을 가진 중국 최고의 고온 진공 오븐 제조업체입니다.

사용자 정의 또는 OEM 서비스를 제공합니까?

Q: 당신은 사용자 정의 또는 OEM 서비스를 가지고 있습니까?

A:예,우리는 강력한 R & D 팀과 첨단 기술을 갖추고 있습니다. 그래서 우리는 일반 모델뿐만 아니라 고객의 재구성으로 사용자 정의 가능한 오븐을 공급 할 수 있습니다.

당신 장점은 뭐죠?

Q: 당신의 장점은 무엇입니까?

A:

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