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TiCL4,AICL3 전구 및 공정 가스를 가진 화학 증기 퇴적 코팅 오븐

TiCL4,AICL3 전구 및 공정 가스를 가진 화학 증기 퇴적 코팅 오븐

화학 증기 퇴적 코팅 오븐

TiCL4 전신으로 코팅 오븐

AICL3 전신으로 코팅 오븐

원래 장소:

중국

브랜드 이름:

Ruideer

인증:

CE

모델 번호:

630,530,430

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인용 을 요청 하십시오
제품 세부 정보
공정온도((℃):
700-1050
전구체 및 공정 가스:
TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
지불 및 배송 조건
최소 주문 수량
1 세트
가격
협상 가능
포장 세부 사항
나무 상자
배달 시간
5-6개월
지불 조건
L/C, T/T
공급 능력
5-6개월/세트
제품 설명

TiCL4,AICL3 전구 및 공정 가스를 가진 화학 증기 퇴적 코팅 오븐

 

CVD 코팅 머신 (CVD Coating Machine) 은 최첨단 진공 코팅 기법으로, 화학 퇴적 장비를 이용하여 얇은 물질 층을 기판 표면에 퇴적시킨다.이 유형의 표면 코팅 장치는 광범위한 코팅 속도를 제공합니다.또한 정확하고 균일한 코팅 압력을 제공하며 압력 안정성은 -± 2mbar입니다. 난방 시스템은 전기 난방입니다.최적의 코팅 결과를 위해 안정적인 기질 온도를 보장합니다.. 전체 프로세스는 정확한 코팅 두께와 균일성을 보장하는 PLC 시스템으로 제어됩니다. 이 CVD 코팅 기계는 다양한 CVD 코팅 응용 프로그램에 이상적입니다.

 

ALD와 CVD 과정의 차이점:

 

   ALD화학 증기 퇴적 기법으로 자기 제한 표면 반응에 기초합니다.

매번 한 개의 원자 층을 담은 필름

낮은 온도를 요구합니다.

반도체 및 통합 회로, 얇은 필름 태양 전지 생산 및 광학적 구성 요소에 대한 고성능 코팅의 생산에 유용합니다.

 

심혈관 질환은 가스 단계 전초 물질의 화학 반응을 통해 가열 된 기판에 얇은 필름이 형성되는 널리 사용되는 재료 처리 기술입니다.

더 넓은 두께 범위의 퇴적 필름

더 높은 온도를 요구합니다

광학, 마이크로 전자, 재료 과학 등 분야에서 사용되며, 전자 장치에 대한 얇은 필름과 코팅, 렌즈와 거울에 대한 코팅,그리고 다양한 재료의 합성.

 

장비 모델 CVD430-1250 CVD430-1600 CVD530-1250 CVD530-1600 CVD630-1250 CVD630-1600
유효 공간 (mm) Φ400x1250 Φ400X1600 Φ500X1250 Φ500X1600 Φ600X1200 Φ600X1600
난방 전력 (KW) 39 48 45 55 65 80
난방 구역의 양 4 5 4 5 4 5
장비 발자국 (mm) 6000*5800*4800 6000*5800*5100 6500*6000*4800 6500*6000*5100 7200*6200*4800 7200*6200*5100
공정 온도(°C) 700~1050
선구소 및 공정 가스 TiCL4AICL3CH3CN,H2N2AR,CH,CO,CO2HCI,H2S
코팅 종류 TiC,TiN,TiCN,a-AL23K-AI23
선택용 장비

1가스 중화기 (피난장치 포함) 를 끄는 것

2. 2단계 가스 분배기 (파이프 라인 포함)

3주유소 (유도선 포함)

 

• 디자인 표준

 

장비는 품질 및 기술 감독 사무소의 압력 용기 요구 사항에 따라 설계되었으며 압력 테스트를 거쳐 자격을 갖추고 배송됩니다.전기 설계 및 건설은 국가 표준을 충족.

 

• 설치 전 시험 및 사전 승인

 

모든 파이프 라인, 진공 파이프 라인, 공정 가스 파이프 라인, 냉각 물 파이프 라인, 압축 공기 파이프 라인 등을 포함한 장비는 우리 공장에서 완전히 조립됩니다.설치 후 사전 테스트를 수행 할 수 있습니다.고객 현장에서, 장비 이외의 파이프 라인은 고객에 의해 제공됩니다. 설치는 또한 모든 케이블의 연결을 포함합니다. 고객 현장에서,전원 캐비닛을 연결하는 주 케이블은 고객이 제공합니다.설치 후, 우리는 전체 장비에 진공 및 압력 누출 테스트를 수행하고 기계 및 전기 기능 테스트를 수행합니다.

 

• 해체 및 운송

 

장비는 여러 개의 큰 부분으로 해체되고 표준화된 방식으로 포장되고 운송 차량에 탑재됩니다.

 

• 고객 사이트 설치 및 시공

 

레델의 사후 엔지니어는 20일 이내에 팀의 시공, 제품 시험 연소 및 기타 작업을 완료하도록 이끌 것입니다.고객은 적절한 준비를 하고 필요한 도구를 제공해야 합니다.설치 인력 지원 (기계 인력 1명과 전기 인력 1명) 을 제공합니다.

 

• 최종 승인

설치 및 시공 후, 장비는 기술 계약의 요구 사항에 따라 최종적으로 받아 들일 수 있습니다.

 

• 훈련

우리의 판매 후 엔지니어들은 운영, 유지 보수, 문제 해결 등을 포함한 체계적이고 완전한 현장 교육을 제공합니다.

 

• 기술 데이터 전달

 

안전 운용 및 장비 유지보수를 보장하기 위해 다음의 기술적 데이터가 고객에게 제공됩니다.

 

1장비 설치 레이아웃

2사용 설명서

3부품 목록

4전기 도면

5부품 설명서

 

FAQ

공장이나 무역회사인가요?

Q: 공장 또는 무역 회사인가요?

A: 우리는 10 년 이상의 경험을 가진 중국 최고의 고온 진공 오븐 제조업체입니다.

사용자 정의 또는 OEM 서비스를 제공합니까?

Q: 당신은 사용자 정의 또는 OEM 서비스를 가지고 있습니까?

A:예,우리는 강력한 R & D 팀과 첨단 기술을 갖추고 있습니다. 그래서 우리는 일반 모델뿐만 아니라 고객의 재구성으로 사용자 정의 가능한 오븐을 공급 할 수 있습니다.

당신 장점은 뭐죠?

Q: 당신의 장점은 무엇입니까?

A:

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l 높은 품질 관리

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