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HTCVD 실리콘 탄화물 CVD SIC 에피타시 성장 오븐 다중 온도 제어 구역

HTCVD 실리콘 탄화물 CVD SIC 에피타시 성장 오븐 다중 온도 제어 구역

HTCVD 에피타시 성장 오븐

실리콘 카비드 CVD 오븐

CVD SIC 에피택시 성장 오븐

원래 장소:

중국

브랜드 이름:

Ruideer

인증:

CE

모델 번호:

사용자 정의

저희와 연락
인용 을 요청 하십시오
제품 세부 정보
유효공간(mm):
1000*1000*1500
난방력(KVA):
300
Max.Tep.:
1500C
온도 균일성:
≤±7℃
최종 진공:
10 pa
공정 가스:
MTS, Ar, H2
지불 및 배송 조건
최소 주문 수량
1 세트
가격
협상 가능
포장 세부 사항
나무 상자
배달 시간
5-6개월
지불 조건
L/C, T/T
공급 능력
5-6개월/세트
제품 설명

HTCVD 실리콘 카바이드 (CVD SIC) 에피타시 성장 오븐

이 장비는 탄소 기반/세라믹 기반 물질의 실리콘 카바이드 코팅에 사용됩니다.특히 반도체 에피타시얼 수식체 및 에치링 링의 표면에 실리콘 카바이드의 퇴적.

코팅 비율은 계류 고객들에게 매우 중요한 지표이며, 이는 장비의 생산 능력과 직접 관련이 있습니다.우리의 장비는 시속 50 미크론의 퇴적 속도를 달성 할 수 있습니다, 또한 생산 시간을 크게 줄이는 빠른 냉각 장치로 장착 할 수 있습니다.

기술적 특징

1여러 온도 제어 구역을 사용하여, 큰 온도 균일성;

2. 좋은 밀폐 효과와 좋은 오염 방지 성능을 가진 특수 설계 퇴적 챔버;

3. 유동성 가스 흐름을 가진 여러 퇴적 채널을 사용하여, 퇴적 죽은 코너와 완벽한 퇴적 표면없이;

4그것은 퇴적 과정 동안 타르, 고체 먼지 및 유기 가스를 처리합니다


• 디자인 표준

장비는 품질 및 기술 감독 사무소의 압력 용기 요구 사항에 따라 설계되었으며 압력 테스트를 거쳐 자격을 갖추고 배송됩니다.전기 설계 및 건설은 국가 표준을 충족.

• 설치 전 시험 및 사전 승인

모든 파이프 라인, 진공 파이프 라인, 공정 가스 파이프 라인, 냉각 물 파이프 라인, 압축 공기 파이프 라인 등을 포함한 장비는 우리 공장에서 완전히 조립됩니다.설치 후 사전 테스트를 수행 할 수 있습니다.고객 현장에서, 장비 이외의 파이프 라인은 고객에 의해 제공됩니다. 설치는 또한 모든 케이블의 연결을 포함합니다. 고객 현장에서,전원 캐비닛을 연결하는 주 케이블은 고객이 제공합니다.설치 후, 우리는 전체 장비에 진공 및 압력 누출 테스트를 수행하고 기계 및 전기 기능 테스트를 수행합니다.

• 해체 및 운송

장비는 여러 개의 큰 부분으로 해체되고 표준화된 방식으로 포장되고 운송 차량에 탑재됩니다.

• 고객 사이트 설치 및 시공

레델의 사후 엔지니어는 20일 이내에 팀의 시공, 제품 시험 연소 및 기타 작업을 완료하도록 이끌 것입니다.고객은 적절한 준비를 하고 필요한 도구를 제공해야 합니다.설치 인력 지원 (기계 인력 1명과 전기 인력 1명) 을 제공합니다.

• 최종 승인
설치 및 시공 후, 장비는 기술 계약의 요구 사항에 따라 최종적으로 받아 들일 수 있습니다.

• 훈련
우리의 판매 후 엔지니어들은 운영, 유지 보수, 문제 해결 등을 포함한 체계적이고 완전한 현장 교육을 제공합니다.

• 기술 데이터 전달

안전 운용 및 장비 유지보수를 보장하기 위해 다음의 기술적 데이터가 고객에게 제공됩니다.

1장비 설치 레이아웃
2사용 설명서
3부품 목록
4전기 도면
5부품 설명서

FAQ

공장이나 무역회사인가요?

Q: 공장 또는 무역 회사인가요?
A: 우리는 10 년 이상의 경험을 가진 중국 최고의 고온 진공 오븐 제조업체입니다.

사용자 정의 또는 OEM 서비스를 제공합니까?

Q: 당신은 사용자 정의 또는 OEM 서비스를 가지고 있습니까?
A:예,우리는 강력한 R & D 팀과 첨단 기술을 갖추고 있습니다. 그래서 우리는 일반 모델뿐만 아니라 고객의 재구성으로 사용자 정의 가능한 오븐을 공급 할 수 있습니다.

당신 장점은 뭐죠?

Q: 당신의 장점은 무엇입니까?
A:

조회에 신속한 답변

l 높은 품질 관리

l 안정적인 공급망

l 신속한 배송

우수한 판매 후 서비스


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