HTCVD 실리콘 카바이드 (CVD SIC) 에피타시 성장 오븐

이 장비는 탄소 기반/세라믹 기반 물질의 실리콘 카바이드 코팅에 사용됩니다.특히 반도체 에피타시얼 수식체 및 에치링 링의 표면에 실리콘 카바이드의 퇴적.

고순도 그래피트 디스크, 원형 갈라짐으로 웨이퍼 기판을 고정합니다.가루에 넣은 후 피질의 표면에 결정 필름의 층이 자랄 것입니다.리토그래피와 이온 이식과 같은 웨이퍼 프로세스는 모두 대피층에서 수행됩니다.

그래피트로 만든 대각 기판은 반도체 공정에서 매우 높은 청결성 요구 사항을 충족시킬 수 없음이 분명합니다.이 이유로, 우리는 밀도가 높은 실리콘 카바이드 필름의 층을 포장하기 위해 기지에 화학적 증기 퇴적을 사용해야합니다.

선택적 구성

1오븐 문: 나사 / 수압 / 수동 높이 유형; 스윙 오픈 / 평행 오픈 ((대 크기의 오븐 문); 수동 밀착 / 자동 잠금 반지 밀착
2오븐 용기: 모든 탄소 강철/내층 스테인레스 강철/모든 스테인레스 강철
3오븐 온도 구역: 부드러운 탄소 필트/ 부드러운 그래피트 필트/ 딱딱한 복합 필트/ CFC
4난방 원소 및 머플: 동전 압축 그래피트/고위 순도, 강도 및 밀도 그래피트/미세 크기의 그래피트
5공정 가스 시스템: 부피/량 흐름 미터
6열쌍: K 타입/N 타입/C 타입/S 타입

• 디자인 표준

장비는 품질 및 기술 감독 사무소의 압력 용기 요구 사항에 따라 설계되었으며 압력 테스트를 거쳐 자격을 갖추고 배송됩니다.전기 설계 및 건설은 국가 표준을 충족.

• 설치 전 시험 및 사전 승인

모든 파이프 라인, 진공 파이프 라인, 공정 가스 파이프 라인, 냉각 물 파이프 라인, 압축 공기 파이프 라인 등을 포함한 장비는 우리 공장에서 완전히 조립됩니다.설치 후 사전 테스트를 수행 할 수 있습니다.고객 현장에서, 장비 이외의 파이프 라인은 고객에 의해 제공됩니다. 설치는 또한 모든 케이블의 연결을 포함합니다. 고객 현장에서,전원 캐비닛을 연결하는 주 케이블은 고객이 제공합니다.설치 후, 우리는 전체 장비에 진공 및 압력 누출 테스트를 수행하고 기계 및 전기 기능 테스트를 수행합니다.

• 해체 및 운송

장비는 여러 개의 큰 부분으로 해체되고 표준화된 방식으로 포장되고 운송 차량에 탑재됩니다.

• 고객 사이트 설치 및 시공

레델의 사후 엔지니어는 20일 이내에 팀의 시공, 제품 시험 연소 및 기타 작업을 완료하도록 이끌 것입니다.고객은 적절한 준비를 하고 필요한 도구를 제공해야 합니다.설치 인력 지원 (기계 인력 1명과 전기 인력 1명) 을 제공합니다.

• 최종 승인
설치 및 시공 후, 장비는 기술 계약의 요구 사항에 따라 최종적으로 받아 들일 수 있습니다.

• 훈련
우리의 판매 후 엔지니어들은 운영, 유지 보수, 문제 해결 등을 포함한 체계적이고 완전한 현장 교육을 제공합니다.

• 기술 데이터 전달

안전 운용 및 장비 유지보수를 보장하기 위해 다음의 기술적 데이터가 고객에게 제공됩니다.

1장비 설치 레이아웃
2사용 설명서
3부품 목록
4전기 도면
5부품 설명서

FAQ

공장이나 무역회사인가요?

Q: 공장 또는 무역 회사인가요?
A: 우리는 10 년 이상의 경험을 가진 중국 최고의 고온 진공 오븐 제조업체입니다.

사용자 정의 또는 OEM 서비스를 제공합니까?

Q: 당신은 사용자 정의 또는 OEM 서비스를 가지고 있습니까?
A:예,우리는 강력한 R & D 팀과 첨단 기술을 갖추고 있습니다. 그래서 우리는 일반 모델뿐만 아니라 고객의 재구성으로 사용자 정의 가능한 오븐을 공급 할 수 있습니다.

당신 장점은 뭐죠?

Q: 당신의 장점은 무엇입니까?
A:

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