2 반응 용기와 대단히 자동 수신 데이터 가능 530L CVD 코팅기기

2 반응 용기와 대단히 자동 수신 데이터 가능 530L CVD 코팅로

1. 장비 힘

1.1 자동 모드. 프로세스 설정에 따르면, 개별적 구성품과 절차는 자동적으로 제어됩니다. 자동 제어는 밸브 스위치, 과정 기체 흐름 제어, 처리액 흐름제어, 전체 과정에서 사람이 개입하지 않고 노와 전기 가열 벨트 온도 제어, 기타 등등을 가열시킨 원자로 압력 제어기를 포함합니다. 자동 동작 과정은 자동 알람 처리를 실현합니다. 다른 알람 종류에 따르면, 그것은 노에서 제품을 보호하기 위해 자동적으로 경보 모드에 들어갈 것입니다. 알람이 공개된 후, 그것은 손으로 알람 전에 주에 복구될 수 있습니다.

1.2. 프로세스는 프로세스를 통하여 모니터링됩니다, 모든 센서 데이터와 밸브 지위가 역사적 데이터에 저장되며, 그것이 언제든지 보여질 수 있습니다.

1.3. 수동 모드. 자동적으로 원자로와 원자로가 뜻대로 열릴 수 없다는 것을 가스 형태와 내부 온도에 따라 장치를 실현하는 안전 정지 장치가 있습니다. 수동 모드는 배큐밍, H2 세정, N2 세정, 기타 등등과 같은 1개 버튼 운영, 손으로 개별적 밸브와 진공 펌프를 이동하기 위한 어떤 필요로 설정되지 않습니다.

1.4. 알람 데이터는 자동적으로 구해지고 역사적 데이터가 언제든지 검색될 수 있습니다.

2. 공장 작업 환경

2.1 주변습도와 온도

2.1.1 주변습도 : <90>

2.1.2 대기 온도 : 5C~40C

2.2 전원 공급기

2.2.1 전원 공급기 : 380V±10%, 50Hz, 3상 5선 시스템

2.2.2 제어전원공급장치 : 210V~250V, 50Hz, 단일 상

2.3 공기 공급원

2.3.1 압축 공기 압력 : 6-7bar,

2.3.2 아르곤 압력 : 2-3bar,

2.3.3 H2 압력과 흐름 : 2-3bar, 0-75slm

2.3.4 N2 압력과 흐름 : 2-3bar, 0-50slm

2.3.5 CO 압력과 흐름 : 2-3bar, 0-2.5slm

2.3.6 이산화탄소 압력과 흐름 : 2-3bar, 0-5slm

2.3.7 CH4 압력과 흐름 : 2-3bar, 0-5slm

2.3.8 하크들 압력과 흐름 : 2-3bar, 0-5slm

2.3.9 H2S 압력과 흐름 : 2-3bar, 0-0.4slm

2.4 수원

2.4.1 냉각수 흡입구 압력 : 2-3bar, 순수한 물은 권고됩니다. 온도는 13-16' Ｃ입니다. (고객들은 냉각수), 냉각수 순환량, 5m3/h를 갖추고 있을 필요가 있습니다.

2.4.2 (사용자에 의해 준비되기 위한) 비상 대기 수원

압력 : 1.5bar-2bar.