구조: 수평식
Dimension Of Furnace: 4500x5400x3500mm
Operating Time: 300 Furnace/time
Dimension Of Furnace: 4500x5400x3500mm
Maximum static pressure: 1500/2100/2300℃
Dimension of constant temperature zone: Ф160x160 mm/Ф160x200 mm
난방 구역: 다수인 단식 / 복식 /
온도측정: W-RE 5/26 열전대+적외선 고수계
Workingspace: 12-1000L
max.workingpressuremax.workingpressure (MPA): 1 、2、6、10、20
최대사용온도(℃): 1300
Temperature uniformity(℃): ≤±3
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Temp.of deposition((℃): 900-1050
Process pressure(mbar): 100-300
형성제: 파라핀, 페그, 고무, (C12H22O5) N 등
온도측정: W-RE 5/26 열전대+적외선 고수계
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