vacuum pressure furnace (504) 온라인 제조사
공정온도((℃): 700-1050
전구체 및 공정 가스: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
공정온도((℃): 700-1050
전구체 및 공정 가스: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
압력 수준: 1MPa/2MPa/6MPa/10MPa
가스가 소개되는 것을 허용하십시오: Ar/N2/H2/CH4
포장 세부 사항: 검사 나무로 되는 케이스에서 면제하는
배달 시간: 100-120 일 일
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
색: 흰색, 회색, 검정색, 파란색
퍼니스 쉘: 탄소 / 스테인레스 강
도포 방법: 화학기상증착(CVD)
전체 전력: 약 40/50/60/80kW
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